BPG400 大氣壓至超高真空計:B-A 型皮拉尼真空計

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×^10-10 mbar至大氣壓（3.8×^10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經濟型封裝，在低成本、可重復的過程中進行基礎壓力測量。

好處

• 從 5 x ^10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x ^{10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

• 皮拉尼聯鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

• 長使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

• 符合 RoHS 標準

• 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

• 工業鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制